整片 TOPCON自動化
硼擴(kuò)、氧化、LPCVD插片
上料和下料：干/濕花籃
輸出 ：石英舟，一拖一/一拖二
滿足IGV對接或人工上下料
標(biāo)配 ：陶瓷吸盤，陶瓷/快插頂齒/側(cè)梳齒
標(biāo)配 ：分片風(fēng)刀，離子風(fēng)除靜電，風(fēng)刀吹掃頂齒碎片
選配：方阻檢測，花籃碎片相機(jī)檢測，舟碎片相機(jī)檢測
可選龍門架插取片，6軸機(jī)器人插取片
可選機(jī)械手臥籃插取片或機(jī)械手豎籃插取片
適用于182mm、210mm及182*210mm 矩形片，最大尺寸可兼容到230mm
設(shè)備功能
上料和下料：干/濕花籃
輸出 ：石英舟，一拖一/一拖二
滿足IGV對接或人工上下料
標(biāo)配 ：陶瓷吸盤，陶瓷/快插頂齒/側(cè)梳齒
標(biāo)配 ：分片風(fēng)刀，離子風(fēng)除靜電，風(fēng)刀吹掃頂齒碎片
選配：方阻檢測，花籃碎片相機(jī)檢測，舟碎片相機(jī)檢測
可選龍門架插取片，6軸機(jī)器人插取片
可選機(jī)械手臥籃插取片或機(jī)械手豎籃插取片
適用于182mm、210mm及182*210mm 矩形片，最大尺寸可兼容到230mm
設(shè)備參數(shù)
| 項目 | 參數(shù) | |||
| 硅片尺寸 | 182-230mm | 182-230mm | 182-230mm | 182-230mm |
| 產(chǎn)能 | 10000pcs/h | 8000pcs/h | 12000pcs/h | 12000pcs/h |
| 碎片率 | ≤0.02% | ≤0.02% | ≤0.02% | ≤0.02% |
| 稼動率 | ≥99% | ≥99% | ≥99% | ≥99% |
| 輸出 | 一拖二 | 一拖一 | 一拖二 | 一拖一 |
| 取放片方式 | 機(jī)器人 | 機(jī)器人 | 桁架式 | 桁架式 |
| 上料/下料方式 | 花籃/花籃 | 花籃/花籃 | 花籃/花籃（116片花籃+） | 花籃/花籃（116片花籃+） |
| 外接設(shè)備 | 方阻檢測、隱裂，碎片檢測，舟內(nèi)碎片相機(jī)檢測、智能IGV接口 | |||
| 軟件功能 | MES功能，遠(yuǎn)程診斷功能，OEE統(tǒng)計 和能源消耗分析功能 | |||
全國統(tǒng)一服務(wù)電話：0512-65681888 電話：0512-65681888 地址：蘇州市吳中區(qū)光福鎮(zhèn)福利路17號
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