整片 TOPCON自動化
去PSG+堿拋/去BSG+RCA
輸入: 花籃 (干濕花籃通用)
輸出: 花籃 (干濕花籃通用)
碎片檢測,疊片檢測
8道、10道或12道等多通道
可選支持MES功能和遠程診斷功能
可選智能IGV接口
智能機器,OEE統(tǒng)計和能源消耗分析功能
適用于182mm、210mm及182*210mm矩形片,最大尺寸可兼容至230mm
設備功能
輸入: 花籃 (干濕花籃通用)
輸出: 花籃 (干濕花籃通用)
碎片檢測,疊片檢測
8道、10道或12道等多通道
可選支持MES功能和遠程診斷功能
可選智能IGV接口
智能機器,OEE統(tǒng)計和能源消耗分析功能
適用于182mm、210mm及182*210mm矩形片,最大尺寸可兼容至230mm
設備參數(shù)
項目 | 參數(shù) | |
硅片尺寸 | 182-230mm | 182-230mm |
產(chǎn)能 | 12000pcs/h | 16000pcs/h |
碎片率 | ≤0.02% | ≤0.02% |
稼動率 | ≥99% | ≥99% |
上料/下料方式 | 花籃/花籃 | 花籃/花籃 |
外接設備 | 隱裂,雙片,碎片檢測,智能IGV接口 | |
軟件功能 | MES功能,遠程診斷功能,OEE統(tǒng)計,和能源消耗分析功能 |
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