整片 TOPCON自動化
ALD插片機
料和下料：干/濕花籃
輸出 ：金屬舟
滿足IGV對接或人工上下料
標(biāo)配陶瓷吸盤，陶瓷/快插頂齒/側(cè)梳齒
標(biāo)配分片風(fēng)刀，離子風(fēng)除靜電，風(fēng)刀吹掃頂齒碎片
可選支持MES功能和遠程診斷功能
可選智能IGV接口
智能機器，OEE統(tǒng)計和能源消耗分析功能
適用于182mm、210mm及182*210mm矩形片，最大尺寸可兼容至230mm
設(shè)備功能
料和下料：干/濕花籃
輸出 ：金屬舟
滿足IGV對接或人工上下料
標(biāo)配陶瓷吸盤，陶瓷/快插頂齒/側(cè)梳齒
標(biāo)配分片風(fēng)刀，離子風(fēng)除靜電，風(fēng)刀吹掃頂齒碎片
可選支持MES功能和遠程診斷功能
可選智能IGV接口
智能機器，OEE統(tǒng)計和能源消耗分析功能
適用于182mm、210mm及182*210mm矩形片，最大尺寸可兼容至230mm
設(shè)備參數(shù)
| 項目 | 參數(shù) |
| 硅片尺寸 | 182-230mm |
| 產(chǎn)能 | 16000pcs/h |
| 碎片率 | ≤0.02% |
| 稼動率 | ≥99% |
| 吸盤材料 | 陶瓷 |
| 吸盤印+頂 齒印+劃傷 | ≥0.02% |
| 上料/下料方式 | 花籃/花籃 |
| MTBF | ≥500h |
| MTTR | ≤1h |
| 外接設(shè)備 | 隱裂，碎片檢測，智能IGV接口 |
| 軟件功能 | MES功能，遠程診斷功能，OEE統(tǒng)計，和能源消耗分析功能 |
全國統(tǒng)一服務(wù)電話：0512-65681888 電話：0512-65681888 地址：蘇州市吳中區(qū)光福鎮(zhèn)福利路17號
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