整片 TOPCON自動化
PECVD插片機
上料和下料 ： 花籃
輸出 ： 石墨舟
標配舟溫檢測，垂直拍舟及高頻拍舟，陶瓷吸盤，單路真空
可選在線色差檢測，PL檢測，碎片檢測，翹片檢測
可選支持MES功能和遠程診斷功能
可選智能IGV接口
智能機器，OEE統(tǒng)計和能源消耗分析功能
適用于182mm、210mm及182*210mm矩形片，最大尺寸可兼容到230mm
設備功能
上料和下料 ： 花籃
輸出 ： 石墨舟
標配舟溫檢測，垂直拍舟及高頻拍舟，陶瓷吸盤，單路真空
可選在線色差檢測，PL檢測，碎片檢測，翹片檢測
可選支持MES功能和遠程診斷功能
可選智能IGV接口
智能機器，OEE統(tǒng)計和能源消耗分析功能
適用于182mm、210mm及182*210mm矩形片，最大尺寸可兼容到230mm
設備參數(shù)
| 項目 | 參數(shù) | |
| 硅片尺寸 | 182-230mm | 182-230mm |
| 產(chǎn)能 | 7500pcs/h | 8500pcs/h（雙機械手） |
| 碎片率 | ≤0.03% | ≤0.03% |
| 稼動率 | ≥99% | ≥99% |
| 拍舟功能 | 拍舟＋高頻震舟 | 拍舟＋高頻震舟 |
| 機器人選型 | 史陶比爾/發(fā)那科 | 史陶比爾/發(fā)那科 |
| 上料/下料方式 | 花籃/花籃 | |
| 外接設備 | 色差檢測，PL檢測，碎片檢測，翹片檢 測，翻轉(zhuǎn)，NG進花籃、智能IGV接口、高精度稱重，隱裂，雙片 | |
| 軟件功能 | MES功能，遠程診斷功能，OEE統(tǒng)計和能源消耗分析功能 | |
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