半片 TOPCON自動(dòng)化
半片-硼擴(kuò)、氧化、LPCVD插片機(jī)
料和下料：干/濕花籃
輸出 ：石英舟，一拖一/二
滿足IGV對(duì)接或人工上下料
標(biāo)配 ：陶瓷吸盤(pán)，陶瓷/快插頂齒/側(cè)梳齒
標(biāo)配 ：分片風(fēng)刀，離子風(fēng)除靜電，風(fēng)刀吹掃頂齒碎片
龍門架插取片，6軸機(jī)器人插取片
機(jī)械手臥籃插取片
適用于182半片,210半片，最大可兼容至230半片
設(shè)備功能
料和下料：干/濕花籃
輸出 ：石英舟，一拖一/二
滿足IGV對(duì)接或人工上下料
標(biāo)配 ：陶瓷吸盤(pán)，陶瓷/快插頂齒/側(cè)梳齒
標(biāo)配 ：分片風(fēng)刀，離子風(fēng)除靜電，風(fēng)刀吹掃頂齒碎片
龍門架插取片，6軸機(jī)器人插取片
機(jī)械手臥籃插取片
適用于182半片,210半片，最大可兼容至230半片
設(shè)備參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) | |||
| 硅片尺寸 | 182-230mm | 182-230mm | 182-230mm | 182-230mm |
| 產(chǎn)能 | 18000pcs/h | 18000pcs/h | 22000pcs/h | 22000pcs/h |
| 碎片率 | ≤0.02% | ≤0.02% | ≤0.02% | ≤0.02% |
| 稼動(dòng)率 | ≥99% | ≥99% | ≥99% | ≥99% |
| 輸出 | 一拖二 | 一拖一 | 一拖二 | 一拖一 |
| 取放片方式 | 機(jī)器人 | 機(jī)器人 | 桁架式 | 桁架式 |
| 上料/下料方式 | 花籃/花籃 | 花籃/花籃 | 花籃/花籃（116片花籃+） | 花籃/花籃（116片花籃+） |
| 外接設(shè)備 | 方阻檢測(cè)、隱裂，碎片檢測(cè)，舟內(nèi)碎片相機(jī)檢測(cè)、智能IGV接口、高精度稱重 | |||
| 軟件功能 | MES功能，遠(yuǎn)程診斷功能，OEE統(tǒng)計(jì)和能源消耗分析功能 | |||
全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)電話：0512-65681888 電話：0512-65681888 地址：蘇州市吳中區(qū)光福鎮(zhèn)福利路17號(hào)
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