半片 TOPCON自動化
半片-磷擴插片機
上料和下料：干/濕花籃
輸出 ：石英舟，一拖一
滿足IGV對接或人工上下料
標配 ：陶瓷吸盤，陶瓷/快插頂齒/側梳齒
標配 ：分片風刀，離子風除靜電，風刀吹掃頂齒碎片
選配 ：方阻檢測，花籃碎片相機檢測，舟碎片相機檢測
可選龍門架插取片，6軸機器人插取片
可選機械手臥籃插取片或機械手豎籃插取片
適用于182mm、210mm及182*210mm矩形片，最大尺寸可兼容到230mm
設備功能
上料和下料：干/濕花籃
輸出 ：石英舟，一拖一
滿足IGV對接或人工上下料
標配 ：陶瓷吸盤，陶瓷/快插頂齒/側梳齒
標配 ：分片風刀，離子風除靜電，風刀吹掃頂齒碎片
選配 ：方阻檢測，花籃碎片相機檢測，舟碎片相機檢測
可選龍門架插取片，6軸機器人插取片
可選機械手臥籃插取片或機械手豎籃插取片
適用于182mm、210mm及182*210mm矩形片，最大尺寸可兼容到230mm
設備參數(shù)
| 項目 | 參數(shù) | |||
| 硅片尺寸 | 182-230mm | 182-230mm | 182-230mm | 182-230mm |
| 產能 | 18000pcs/h | 18000pcs/h | 22000pcs/h | 22000pcs/h |
| 碎片率 | ≤0.02% | ≤0.02% | ≤0.02% | ≤0.02% |
| 稼動率 | ≥99% | ≥99% | ≥99% | ≥99% |
| 輸出 | 一拖二 | 一拖一 | 一拖二 | 一拖一 |
| 取放片方式 | 機器人 | 機器人 | 桁架式 | 桁架式 |
| 上料/下料方式 | 花籃/花籃 | 花籃/花籃 | 花籃/花籃（116片花籃+） | 花籃/花籃（116片花籃+） |
| 外接設備 | 方阻檢測、隱裂、碎片檢測、舟內碎片相機檢測、智能IGV接口、高精度稱重 | |||
| 軟件功能 | MES功能、遠程診斷功能、OEE統(tǒng)計和能源消耗分析功能 | |||
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