半片 TOPCON自動(dòng)化
半片-PECVD插片機(jī)
上料和下料 ： 花籃
輸出 ： 石墨舟，一拖一/二
標(biāo)配舟溫檢測，垂直拍舟及高頻拍舟，陶瓷吸盤
可選在線色差檢測，PL檢測，碎片檢測，翹片檢測
可選支持MES功能和遠(yuǎn)程診斷功能
可選智能IGV接口
智能機(jī)器，OEE統(tǒng)計(jì)和能源消耗分析功能
適用于182半片,210半片，最大可兼容至230半片
設(shè)備功能
上料和下料 ： 花籃
輸出 ： 石墨舟，一拖一/二
標(biāo)配舟溫檢測，垂直拍舟及高頻拍舟，陶瓷吸盤
可選在線色差檢測，PL檢測，碎片檢測，翹片檢測
可選支持MES功能和遠(yuǎn)程診斷功能
可選智能IGV接口
智能機(jī)器，OEE統(tǒng)計(jì)和能源消耗分析功能
適用于182半片,210半片，最大可兼容至230半片
設(shè)備參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) | |
| 硅片尺寸 | 182-230mm | 182-230mm |
| 產(chǎn)能 | 15000pcs/h | 17000pcs/h(雙機(jī)械手) |
| 碎片率 | ≤0.03% | ≤0.03% |
| 稼動(dòng)率 | ≥99% | ≥99% |
| 拍舟功能 | 拍舟＋高頻震舟 | 拍舟＋高頻震舟 |
| 機(jī)器人選型 | 史陶比爾/發(fā)那科 | 史陶比爾/發(fā)那科 |
| 外接設(shè)備 | 色差檢測、PL檢測、碎片檢測、翹片檢測、翻轉(zhuǎn)、NG進(jìn)花籃 智能IGV接口，高精度稱重，隱裂，雙片 | |
| 軟件功能 | MES功能、遠(yuǎn)程診斷功能、OEE統(tǒng)計(jì)，和能源消耗分析功能 | |
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